冷压印光刻相关论文
在集成电路的冷压印光刻中,为了获得高分辨率抗蚀剂,着重对溶剂挥发固化型、化学交联固化型和紫外光照交联固化型材料,从复形分辨......
压印光刻技术将传统的模具复型原理应用到微观制造领域,是一种低成本高效率的集成电路制造技术.国外压印光刻工艺主要为热压印.针......
