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金刚石膜共平面和共面栅探测器的研究
金刚石膜具有优异的性能,尤其是其高辐射硬度特性使金刚石膜探测器在探测极端环境下的高能粒子方面显示了其明显的优势,正作为一种新......
学位
金刚石膜
粒子探测器
共面栅
共平面
ANSYS模拟
化学气相沉积
金刚石薄膜共面栅紫外光探测器制备研究
金刚石薄膜具有优异的光学、电学和机械性能,能够耐高温、耐腐蚀和抗强辐射,已成为当前工作在苛刻环境下的探测器的首选材料。利用本......
学位
金刚石薄膜
共面栅
紫外光探测器
退火处理
微波等离子体
化学气相沉积
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