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光盘基片相关论文
光盘基片平整度的相移干涉测量方法
使用工作波长为10.6μm的红外激光平面干涉仪对光盘基片的表面面形进行了移相式干涉法测试,对测试的波面数据进行多项式拟合,并用......
期刊
平整度
测量方法
相移干涉术
光盘基片
红外干涉仪
Flatness measurement
Phase-shifting interferometry
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