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低温蒸发源的研发
分子束外延成膜是新材料开发的先进技术之一,推动了以微结构材料为基础的半导体器件的发展,扩展了半导体科学的领域,广泛应用到金......
学位
低温蒸发源
薄膜生长
分子束外延
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