低温泵相关论文
大型聚变装置是一种利用磁约束来实现受控核聚变的超导托卡马克实验装置。低温泵是大型聚变装置的关键部件之一，主要用于吸附等离子......
以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备，凭借其自身的特点与优势，已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中。近年来，中国......
真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传......
小型制冷机低温泵（以下简称低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型抽气设备，目前国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学......
薄膜设计和制造技术的不断进步使光学镀膜的品质和性能不断完善,薄膜制造的所有阶段实际上正经历重大变革。例如基底清洁是获得高......
为开展磁约束堆芯燃烧等离子体物理实验,正在建造的HL-2M装置拟建造3条5 MW的中性束注入加热束线.简要概述了HL-2M装置NBI加热系统......
90年代初期发展起来的全精馏提氮技术以其明显的社会经济效益和环保安全优势深得广大用户的大力推崇，大有‘唯全精馏提氛工艺和非填......
1改进结构设计的原因、目的及理论基础我厂以往设计制造的低温液体泵，结构设计已成型多年，广泛采用在空分成套设备上，具有一定的可行......
本文比较系统地总结了Gifford-McMahon(G-M)制冷循环的低温泵系统的故障诊断与分析方法,提出了低温泵在使用过程中应注意的问题与......
中性束注入器用液氦低温冷凝泵抽气性能的主要影响因素是低温冷凝抽气面温度,单位时间进气量和被冷凝的气体总量。本文采用流量计......
由于分子泵对氦气有较大抽速,因此在真空检漏系统中通常用分子泵作为主泵,但当检漏容器很大时需要大量分子泵。低温泵具有清洁无油......
低温真空泵作为一种高比抽气速率和极洁净的高真空泵,在很多科研和工业加工方面的应用越来越广泛。一般低温真空泵大多以G-M制冷机......
低温真空系统是NBI综合测试台(NBITF)的一个重要子系统,它为与束的生成和传输过程相关的各类实验提供真空环境支持。在介绍NBITF基......
低温泵是利用低温吸附而达到获取真空的装置。与其他真空获取设备相比,其具有无油、低振动等优势。活性炭是低温泵常用的一种吸附......
介绍了用于大口径低温泵的R65制冷机的结构设计,回热器的设计及材料的选择,以及制冷功率及可靠性测试的试验结果。
The structura......
在液化天然气的运输和存储过程中,低温泵是整个工艺流程中的关键动设备,由于LNG低温泵的结构特点和运行环境使得状态监测技术在该......
