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乙烯掺杂相关论文
乙烯掺杂对硅薄膜沉积速率和形貌的影响
采用APCVD工艺用硅烷和乙烯为原料在620℃沉积硅薄膜.用AFM观察薄膜表面形貌,用SEM扫描截面测量薄膜厚度.FTIR光谱表明薄膜中存在S......
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