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三维铝封装相关论文
选择性穿透阳极氧化工艺的三维铝封装技术研究
针对微系统高可靠集成需求,提出了一种三维铝封装集成微系统多功能器件的结构和方法。通过铝基板选择性穿透阳极氧化试验、低应力......
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