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双层氮化硅薄膜对晶硅太阳电池性能的影响
利用管式PECVD在晶硅太阳电池上制备3种不同结构的SiNx∶H减反射膜:第一子层(靠近基底硅)折射率大于第二子层的双层减反射膜、第一......
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