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柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压力性能的影响
将最小能量法与均匀压力载荷下圆薄膜大变形半解析解相结合,分析了静电驱动柔性微型阀对静电驱动振膜微泵压升性能的影响.微型阀容......
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