针对传统固结磨盘因其表面沟槽形式单一而难以保证蓝宝石等硬脆性材料加工质量的问题,提出了一种螺旋-同心圆双图案非均匀耦合结构......

基于多体动力学分析软件ADAMS建立了双自转研磨方式下的球体运动数值仿真模型,给出了研磨轨迹点分布均匀性(研磨均匀性)的评价方法......

相比于蓝宝石,6H-SiC是制作GaN高功率器件更有前途的衬底.本文研究了表面处理如研磨、化学机械抛光对6H-SiC衬底表面特性的影响.用......

CdZnTe wafers were machined by lapping and mechanical polishing processes, and their surface and subsurface damages were......