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ITO薄膜的制备及其与p-Si接触性能的研究
透明导电薄膜因为同时具备良好的导电率和可见光波段透过率而被广泛应用于太阳电池、发光二极管和平板显示器等半导体器件。其中,I......
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ITO薄膜
磁控溅射
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