在ＳＮＥＣＭＡ和ＣＥＡ两家公司己取得经验的基础上，近几年来ＴＵＲＢＯＶＡＣ型涡轮分子泵已发展成为一个系列。本文介绍了其中的２００，４５０和１５００型的分子泵；描述了立式涡轮分子泵的......

本文介绍一种经过数年积极研制而成的涡轮分子泵，其结构为ＴＵＲＢＯＶＡＣ型，涡轮 转子完全用主动的磁轴承悬挂。因此首先得出了二个特征： 由于不使用......