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Si氧化线相关论文
AFM诱导氧化加工Si纳米氧化线的一致性和连续性的研究
研究了在不同的偏置电压和扫描速度下加工的Si氧化线的一致性和均匀性,得到了加工高质量的Si氧化线的实验条件为:偏置电压8V,扫描......
期刊
AFM针尖诱导阳极氧化
Si氧化线
一致性
连续性
偏置电压
扫描速度
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