SU-8光刻胶相关论文
平面式固体化学微推进器作为微小卫星的微推进系统,具有结构简单、响应迅速以及推力可调的优点。本文以SU-8光刻胶和PCB板作为主体......
采用SiO2/Si构建了可见光波段的分布式布拉格反射镜(DBR),在其中加入SU-8光刻胶制备的中心腔,构成传统的布拉格反射波导(BRW),利用......
针对微流体检测对高灵敏度和较大动态测量范围的要求，设计了一种由SU-8光刻胶一体合成的微型法布里珀罗(F-P)干涉剪应力传感器。结......
涡旋光束具有螺旋型的波前相位且能够携带轨道角动量，尤其是完美涡旋光束，其亮环半径不随拓扑荷数的变化而变化，在粒子操控、光学通信......
微纳流控芯片是将微米结构和纳米结构集成为一体的多功能芯片,在基因测序、生化分析和环境检测等方面展现出广阔的应用前景。目前,......
SU-8光刻胶因具有良好的机械耐久性、聚合物水密性、介电性能、生物兼容性和抗化学腐蚀性而被广泛用于MEMS器件、生物医学和芯片封......
近年来，聚合物材料的研究成为了当前国内外学者的研究重点，许多研究者致力于开发新的材料配方、改进已有材料，希望能够合成天然的、具......
21世纪分析仪器和分析科学的目标是分析仪器的微型化与集成化，微流体芯片是其中发展最快的一个方向。微混合器是微流体芯片的重要组......
目前越来越多的工业应用,特别是一些特殊应用领域,如桥梁建筑的结构检测系统、交通监测系统、石油勘探的地震检波系统、以及航空航......
近年来,随着微机电系统(MEMS)技术的日趋成熟,可集成芯片级的储能元件需求量日益增加。碳基微超级电容器作为最常用的双电层原理的......
准LIGA技术由于其成本低、加工过程简便而倍受微加工制造行业的高度关注。本论文利用激光的高方向性和脉冲的可控性,分别采用Nd:YA......
提出了一种简便快速制作高聚物微流控芯片镍阳模的新方法.采用抛光镍片作为电铸基底,涂覆SU-8光胶层后,光刻得到SU-8微结构.以镍基......
