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NbSiN薄膜的制备及光学性能研究

采用射频磁控溅射法,以铌靶和硅靶为靶材,在玻璃基片上沉积了NbSiN薄膜。研究了硅靶、铌靶功率、氮气流量以及溅射时间对薄膜光学......

期刊

光学性能薄膜层 NbSiN 可见光透射率磁控溅射红外反射率氮气流量薄膜光学射频磁控溅射法工艺参数

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