对于具有动态特性的MEMS陀螺仪表面形貌的检测，采用传统接触式检测方式难以实现。本文设计一款无限远场校正的20× Mirau型白光干涉......

在Ｍｉｒａｕ型干涉仪的基础上，利用相关检测的原理，实现了Ｍｉｒａｕ型相关面型检测仪。通过该面型检测技术，克服了移相显微干涉（ＰＳＭＩ）面型检测系统中纵向分辨能......