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MWECR-CVD相关论文
使用CHF<,3>/C<,6>H<,6>ECR等离子体沉积的氟化非晶碳薄膜的结构与性能
用苯(C_6H_6)和三氟甲烷(CHF_3)混合气体作源气体,采用永磁微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWECR—CVD)技术,成功地制备了低介电常......
学位
MWECR-CVD
a-C:F
H
FTIR
XPS
OES
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