MOCVD工艺相关论文
近年来,以YBCO为代表的二代高温超导带材得到了广泛的研究,高性能的YBCO超导带材在高场磁体、大电流输送等方面均有重要的应用价值......
<正> 一、引言金属有机化学气相淀积法(简称MOCVD法)是1968年由H.M.Manasevit等首先提出的。该法以挥发性金属有机物和气态的非金......