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物联网中的关键技术是感知环境信息，而随着应用需求的不断提高与发展，基于位置的服务的应用越来越占据着重要的科研价值和应用前景。......
MEMS系统主要以硅作为其主要材料,其尺寸在毫米和微米之间,低成本,为尺寸的MEMS是未来制造业发展的必然趋势,在MEMS加工和实验的过......
MEMS驱动器是一种换能元件,能够将其他形式的能转化成机械能,具有体积小、质量轻、结构简单等优点,适合在引信中应用。本文介绍了......
MEMS系统的飞速发展让人们对微尺度领域的研究产生了极大的兴趣。微电子机械系统(Micro Electronic Mechanical System)采用与集成......
MEMS(Micro E1ectro Mechanical System)是采用微机械加工技术,集微型传感器、微型致动器、微型控制器于一体的微机电系统。把MEMS......
随着对MEMS功能要求的越来越高，同时为了降低制作成本，往往通过微装配技术来实现复杂的MEMS系统。在微装配系统中，为了完成对微器件的......
微机电系统（MEMS）是一个多学科技术交叉的新兴领域，在航空、航天、军事等领域有着广泛应用。MEMS学科发展迅速，与其相对应的设计方法与......
MEMS加速度传感器以其各种优越的性能在军事与商业设备中得到广泛应用,它包括MEMS传感器和IC读出电路两部分。近年来,由于其高精度......
