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InTiZnO相关论文
溅射功率对磁控共溅射法制备的InTiZnO薄膜的影响
采用射频磁控共溅射法,以In2O3和Zn2TiO4陶瓷靶为共溅射靶材,在玻璃衬底上制备了InTiZnO薄膜。在薄膜制备过程中,固定In2O3靶材的......
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InTiZnO
共溅射
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