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H2流量相关论文

H2流量对直流磁控溅射低温沉积ZnO∶Al薄膜结构与性能的影响

在Ar和H2的混合气氛下采用直流磁控溅射在玻璃衬底上低温沉积Al掺杂ZnO,即ZnO∶Al透明导电薄膜,研究H2流量(0～10sccm)对薄膜结构、......

期刊

ZnO∶Al薄膜磁控溅射 H2流量电阻率透过率

磁控溅射技术室温生长氢化ZnO∶Ga薄膜及其特性研究

采用直流脉冲磁控溅射方法,在室温下生长氢化Ga掺杂ZnO薄膜(GZO/H),并通过湿法后腐蚀技术获得绒面结构。研究了室温下H2流量对薄膜......

期刊

脉冲磁控溅射氧化锌镓掺杂 H2流量绒面结构

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