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GaN微晶粒相关论文

热壁CVD法GaN微晶粒的制备

用热壁CVD法在Si(111)衬底上生长GaN薄膜,用扫描电镜(SEM)观察发现在表面上有大量微晶粒,这些晶粒的直径在2-4μm之间.用扫描电镜(......

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