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Ce~(3+)注入掺杂金刚石薄膜蓝区电致发光研究
采用微波等离子体化学气相沉积设备在高掺杂硅衬底上沉积了一层金刚石薄膜,然后采用离子注入法在金刚石薄膜中注入不同剂量的Ce3+,......
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