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BST铁电薄膜移相器结构仿真与工艺研究
铁电薄膜介质移相器相比较其它类型的移相器具有成本低、体积小、抗辐射、驱动功率低、可靠性强等优点而备受人们青睐,是军用雷达......
学位
铁电移相器
BST薄膜
HFSS仿真
CPW-MS
双周期结构
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