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Bimorph变形镜相关论文
Bimorph变形镜10.6μm薄膜研究
基于压电驱动器的Bimorph变形镜是10.6μm系统的一个重要元件。为了镀制薄膜,本文首先利用有限元软件对两种镀膜夹持方式与沉积温......
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