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应用于无线局域网的低压低功能2.4GHz VCO设计
伴随射频集成电路制造技术的进步和互联网产业的发展,便携移动产品市场 扩张步伐逐年加快。在美国、欧洲和日本等发达地区,无线......
学位
WLAN
压控振荡器
低功耗
低压
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90nm
解决90nm及以下铝蚀刻中金属腐蚀的先进工艺
随着半导体技术的飞速发展,半导体制造技术已经从90nm进入45nm时代,32nm技术也已经开始研发和应用。而铝线从最早半导体芯片一直沿......
英文论文
铝金属
腐蚀缺陷
蚀刻
90nm
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