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(111)硅相关论文
基于(111)硅单片集成三轴加速度计的工艺研究
介绍了一种新型单片集成电容式三轴微加速度计的加工方法,该方法采用非绝缘体上硅(SOI)的单硅片单面加工技术,易于与IC工艺兼容,而......
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微机电系统(MEMS)
(111)硅
单硅片单面加工
三轴加速度计
单片集成
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