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激光掺杂制作选择性发射极技术提供了一种简单、可行的选择性结构。PSG层覆盖在发射极顶部,这层PSG是在炉管扩散时形成的。在激光掺杂的过程中,PSG层的磷原子,进入发射极,增加了发射极的掺杂浓度。
激光掺杂制作选择性发射极电池的研究
【摘 要】
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激光掺杂制作选择性发射极技术提供了一种简单、可行的选择性结构。PSG层覆盖在发射极顶部,这层PSG是在炉管扩散时形成的。在激光掺杂的过程中,PSG层的磷原子,进入发射极,增
【机 构】
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英利中国能源控股有限公司
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2013年7期
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