【摘 要】
：
为制成千兆位级DRAM，人们期望可实现单元电容器微细化的高介电常数膜材料。为此，开发了SiO2，膜/氮化膜、Ta2O5膜等。而且，也期待开发高介电常数电容器材料——钛酸钡锶氧化膜(BST
论文部分内容阅读
为制成千兆位级DRAM，人们期望可实现单元电容器微细化的高介电常数膜材料。为此，开发了SiO2，膜/氮化膜、Ta2O5膜等。而且，也期待开发高介电常数电容器材料——钛酸钡锶氧化膜(BST：(BaSr)TiO3)成膜技术。rnrn 此时，NEC便开发了低温成膜和台阶覆盖性良好的ECR—CVD法形成的BST成膜装置。开发的装置特点如下：(1)Ba、Sr、Ti各种材料为挥发性金属化合物，Ba、Sr采用decatnate系络合物材料；Ti采用醇盐系材料。靠着精密原料输送系统的温控可控制原料化合物的蒸气压，进而控制原料输送量。(2)靠用磁场下的微波吸收(ECR：电子回旋加速器共鸣)激励电子运动，在BST成膜中采用了已等离子体活性化的氧气体，所以可在500℃低温下形成结晶化BST膜。在BST成膜后，则不需要为结晶化所需的热处理，所以对整个电容成膜工艺低温化有效。(3)靠(1)中所述的高度控制原料输送量技术，使成膜重复性良好。另外，靠气体源均匀供给和磁场形成的氧等离子体可获得均匀性极佳的BST膜。今后，装置也将进一步改进，并计划更大力度改进DRAM用高介电常数膜成膜技术。rnrnrn(康顺)
其他文献
目的:优选苦黄胶囊的提取工艺.方法:用正交设计安排实验,以苦参碱、盐酸小檗碱含量为指标,考察苦参提取时乙醇的浓度、提取时间、溶媒的量和水提取全处方时煎煮时间、煎煮次
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
目的:探讨结肠肝脾曲综合征患者的临床表现及诊治.方法:对121例结肠肝脾曲综合征患者的临床资料进行回顾性分析.结果:临床表现为腹胀腹痛便秘腹泻,常被误诊;X线表现为结肠冗
目的 通过观察两种不同动脉采血方法使用血气分析仪进行床旁电解质测定与常规方法进行静脉血电解质测定的比较,探讨两种不同动脉采血方法的准确性,以及床旁电解质测定是否可替代常规方法的电解质测定.方法 将212例ICU住院患者随机分为两组:肝素钠组和BD血气针组.2组分别用肝素钠抗凝注射器和BD血气针进行动脉血采集,使用ABL800全自动血气分析仪测定动脉血电解质.2组患者同时抽取患者静脉血,离心分离出血
近海风力发电机组(简称风机)在服役期间存在被船舶撞击的风险,而对撞击作用下风力发电塔的动力响应缺乏系统研究.通过有限元方法,建立近海风机的上部结构、单桩基础及土体的
本文结合牡丹江自立式钢烟囱改造项目,对该烟囱由60m增高至100m时进行了计算。发现直径为7m的自立式钢烟囱在高度接近100m时易发生横向风振,计算指标难以满足规范要求,因此改
现已公认,Hodgkin病肿瘤组织中的H/RS细胞是肿瘤细胞,但其成因尚不清楚.10多年前,在H/RS细胞内发现存在EB病毒基因组DNA,此后许多研究均支持这一发现,表明EB病毒在Hodgkin病
日本富士通公司采用MOCVD方法在Inp衬底上生长晶格匹配In 0.52 A1 0.48 As/In 0.53 Ga 0.47 As HEMT。这种HEMT的50mm T型Ti/Pe/Au栅制作可在小于300℃下进行，并遏制Si δ掺杂
介绍组件技术的基本概念,分析组件技术应用在油田信息化建设的必要性.根据油田信息建设实际,探讨建设针对油田的企业级组件库,推动油田数据字化战略.