【摘 要】
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研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。
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研制出一种超精加工表面粗糙度的激光测量仪，采用光外差测量原理和共光路干涉仪结构，具有很强的抗外界振动干扰能力．仪器结构简单，测量灵敏度高，纵向分辨率达０．４ｎｍ，横向分辨率达１．７２μｍ。
A laser measuring instrument with superfinishing surface roughness was developed. It adopts the principle of optical heterodyne measurement and the structure of common optical interferometer. It has strong ability of resisting external vibration. The instrument has the advantages of simple structure, high measurement sensitivity, vertical resolution of 0.4nm and lateral resolution of 1.72μm.
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