【摘 要】
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溶胶－凝胶工艺在薄膜制备方面有其独特的优越性，如工艺过程温度低、成分均匀、纯度高、成膜面积大等。近年来已在薄膜制备方面得到广泛应用。本文简要地综述了溶胶－凝胶工艺在制
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溶胶－凝胶工艺在薄膜制备方面有其独特的优越性，如工艺过程温度低、成分均匀、纯度高、成膜面积大等。近年来已在薄膜制备方面得到广泛应用。本文简要地综述了溶胶－凝胶工艺在制备平面光波导薄膜中的应用。
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