【摘 要】
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成分分析是材料的基本分析之一。常用的电子探针技术,其空间分辨率只能达到20nm—1μm,并且对样品极薄表面层以及材料中的超轻元素分析无能为力。目前发展出的成分分析技术
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成分分析是材料的基本分析之一。常用的电子探针技术,其空间分辨率只能达到20nm—1μm,并且对样品极薄表面层以及材料中的超轻元素分析无能为力。目前发展出的成分分析技术为深度分析。其主要指标包括:可分析的深度、深度分辨率、深度尺度的准确度;成
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