【摘 要】
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ZnO 薄膜乙醇气体传感器由 ZnO 气敏薄膜元件和加热器组合而成。其 ZnO 薄膜采用直流磁控反应溅射在高铝瓷基片上淀积而成。膜内掺人定量的稀土元素催化剂做成层状结构以改
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ZnO 薄膜乙醇气体传感器由 ZnO 气敏薄膜元件和加热器组合而成。其 ZnO 薄膜采用直流磁控反应溅射在高铝瓷基片上淀积而成。膜内掺人定量的稀土元素催化剂做成层状结构以改善器件的灵敏度和选择性。该气敏元件封装于由Φ8mm 的四引出脚管座内,使用方便可靠,
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