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【摘 要】
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提出了利用波面剪切干涉原理测量微细结构台阶高度的方法.通过在微分相衬干涉系统光路中加入偏振分光棱镜,实现了对光束的微分剪切及复合偏振.利用矩阵分析法建立了该测量系
【机 构】
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北京理工大学,信息科学技术学院光电工程系,北京,100081北京控制与电子技术研究所,北京,100038;中国兵器科学研究院,北京,100089;
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2008年2期
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