【摘 要】
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平面调制靶是ＩＣＦ分解实验中的重要用靶。介绍了在过去工作的基础上掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备工艺，研究旋转涂覆和流延工艺对靶的表面起伏图形转移的影响，采用ＳＥＭ观察薄膜表面起
【机 构】
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同济大学波耳固体物理研究所,同济大学化学系
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平面调制靶是ＩＣＦ分解实验中的重要用靶。介绍了在过去工作的基础上掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备工艺，研究旋转涂覆和流延工艺对靶的表面起伏图形转移的影响，采用ＳＥＭ观察薄膜表面起伏图形的形貌，对掺杂溴的含量进行测量和控制，以台阶仪测量靶的表面粗糙度。
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