【摘 要】
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为了改进半绝缘掺Fe的LEC InP晶体结构质量,在熔体中加入少量等电子杂质Ga。在高温退火前后对得到的双掺杂InP晶体进行了x射线、透射电镜和二次离子质谱分析,对于缺陷的分布
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为了改进半绝缘掺Fe的LEC InP晶体结构质量,在熔体中加入少量等电子杂质Ga。在高温退火前后对得到的双掺杂InP晶体进行了x射线、透射电镜和二次离子质谱分析,对于缺陷的分布和密度以及热稳定性和单独掺Fe或掺Ga情况进行了对比讨论。
In order to improve the crystal structure of LEC InP with semi-insulating doped Fe, a small amount of Ga is added into the melt. The obtained dual-doped InP crystals were analyzed by x-ray, transmission electron microscopy and secondary ion mass spectrometry before and after high-temperature annealing. The distribution and density of defects and thermal stability were compared with that of doped or doped Ga alone.
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