【摘 要】
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1.前言近来,随着高精度制造工业的飞速发展,10~(-9)m 的加工精度已成为现实。在如此高精度的工业中,表面粗糙度变得同形状误差一样重要。触针式表面粗糙度测量存在着诸如损
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1.前言近来,随着高精度制造工业的飞速发展,10~(-9)m 的加工精度已成为现实。在如此高精度的工业中,表面粗糙度变得同形状误差一样重要。触针式表面粗糙度测量存在着诸如损伤软质表面,测量时间长等问题。基于这些原因,
1. Introduction Recently, with the rapid development of high-precision manufacturing industry, 10 ~ (-9) m processing accuracy has become a reality. In such high-precision industries, surface roughness becomes as important as shape error. Contact stylus surface roughness measurements such as damage to the soft surface, the measurement time and other issues. For these reasons,
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