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本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.
CVD金刚石膜声学特性的激光超声研究
【摘 要】
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本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚
【机 构】
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同济大学声学研究所,人工晶体研究所
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金;
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