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【摘 要】
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GaAs基半导体激光器芯片在空气中解理后,解理腔面会被空气氧化形成腔面缺陷,在腔面形成的缺陷严重影响了器件的寿命。用GaAs衬底表面模拟半导体激光器的解理腔面,研究了不同
【机 构】
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长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室,
【出 处】
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真空科学与技术学报
【发表日期】
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2013年04期
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