【摘 要】
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本文介绍一种可对微电机转速稳定性进行检测的装置,文章叙述了该装置的特点及其测量原理,该装置将转速稳定性的测量转换为时间测量,因而可获得高的测量精度,在不考虑激光束漂
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本文介绍一种可对微电机转速稳定性进行检测的装置,文章叙述了该装置的特点及其测量原理,该装置将转速稳定性的测量转换为时间测量,因而可获得高的测量精度,在不考虑激光束漂移及大气扰动的影响时,其测量精度可达1×10~(-6)秒。
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