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【摘 要】
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通过线聚焦将自滤波振荡行波放大后的铜激光在ＢＢＯ晶体中信频，当基频光功率为５．４Ｗ时，倍频效率达１４．４％。用钢激光倍频光进行接触式光刻，刻线分辨率优于１．０μｍ。
By line focusing, the copper las
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1995年01期
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