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微(纳)电机系统(MEMS,NEMS)是指尺寸在几毫米乃至更小尺寸的高科技动力装置,其内部结构尺寸一般在微米甚至纳米级,是在微电子技术基础上发展起来的高科技电子机械器件.MEMS具有微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产等许多传统结构无法比拟的优点,其应用已经渗入到生活的方方面面.例如作为频控器件、逻辑开关、驱动器和传感器已被广泛应用于电子、医学、工业、汽车、航空航天系统和国防科技等领域.MEMS技术正在发展成为一个巨大的科技产业,有着十分广阔的应用前景.