【摘 要】
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Hydrogenated amorphous silicon(a-Si:H) films were deposited by reactive facing target sputtering(FTS) technique with a mixture of Ar and H2 reaction gas.Fourier
【出 处】
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Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)
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Hydrogenated amorphous silicon(a-Si:H) films were deposited by reactive facing target sputtering(FTS) technique with a mixture of Ar and H2 reaction gas.Fourier transform infrared(FTIR) absorption,Raman scattering and ultraviolet-visible optical absorptio
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