【摘 要】
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本文论述内锥面铝透镜式聚束探头的研制及特性。内锥面铝透镜紧贴在探头品片上。这种透镜具有消去近场区的能力，且使探头产生较大范围的细声束。在检测圆片状缺陷时，这种探头可
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本文论述内锥面铝透镜式聚束探头的研制及特性。内锥面铝透镜紧贴在探头品片上。这种透镜具有消去近场区的能力，且使探头产生较大范围的细声束。在检测圆片状缺陷时，这种探头可获得最好的结果。
This article discusses the development and characteristics of the cone-shaped aluminum lens focusing probe. The inner conical aluminum lens is closely attached to the probe piece. This lens has the ability to eliminate the near-field region, and the probe produces a wide range of fine beam. The best results are obtained with this probe when detecting disc defects.
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