【摘 要】
：
我们用Ｈｅｎｋｅ型软Ｘ射线源完成了栅网的接触式成像，采用Ｔａｌｙｓｔｅｐ台阶仪测量了不同曝光时间ＰＭＭＡ光刻胶的溶解速率。由测量曲线可知光刻胶在显影开始时速率较快，随着时间的增加，溶解速率逐渐趋缓，最后达
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
论文部分内容阅读
我们用Ｈｅｎｋｅ型软Ｘ射线源完成了栅网的接触式成像，采用Ｔａｌｙｓｔｅｐ台阶仪测量了不同曝光时间ＰＭＭＡ光刻胶的溶解速率。由测量曲线可知光刻胶在显影开始时速率较快，随着时间的增加，溶解速率逐渐趋缓，最后达到所有的曝光时间下的样品的溶解速率都相同。这与理论分析十分吻合。
We used a Henke-type soft X-ray source to complete the contact meshing of the grid. The dissolution rate of the PMMA photoresist at different exposure times was measured using a Talystep stepper. From the measurement curves, the photoresist shows a faster rate at the beginning of development, and as the time increases, the dissolution rate gradually becomes slower. Finally, the dissolution rate of the sample reaches the same at all exposure times. This is very consistent with the theoretical analysis.
其他文献
随着现代足球比赛场上的攻防转换节奏变快,场上情况也在瞬息万变,所以对运动员提出了更高的要求。在场上,边锋队员的好坏将直接影响着整个队伍的进攻效率。因此,文章将通过对
优良的校园文化,是一所好院校持续健康发展的重要保证,本文结合实际,就加强职业院校文化建设谈些看法。(一)建设职业院校文化理论构建
本文介绍了平板显示器制造过程中真空设备的应用，其中介绍了液晶制造过程中所应用的溅射成膜工艺和设备，以及低温多晶硅ＴＦＴ的成膜技术。
This article describes the application
一一个导演在阐述自己将要拍摄的影片时,大约总会想到这样一件事:我要在影片中表现一点什么,或者说,我的这部影片实际上是什么意思。于是影片的内容变得并不十分重要,而导演
前言近年来,在钢桥领域中,从港大桥开始到正在施工的本四联络桥已采用了大跨度,随着大跨度钢桥的采用,对高强度钢材的特性和焊接接头的疲劳等也正在进行研究。
Foreword In
新疆有异彩纷呈、特征鲜明的多民族文化,本文论述了新疆图书馆在多元文化背景下的社会责任,并针对在多元文化背景下,图书馆文献资源建设中文献资源征集、数字化建设、研究开
4年前,我左眼内侧角处长出一块淤肉。因不痛也不痒,故未在意。退休这几年觉左眼视力逐渐下降。医生说是“翼状胬肉”。请问这是一种什么样的病?吉林沈清
Four years ago, I
1981年8月到12月,隧道工程局第二工程处和局科研所在雷公尖隧道进行了双线全断面5米探孔预裂爆破开挖的进洞试验,取得了初步的成果。兹介绍于后。 一、工程概况 雷公尖隧道
本文对接管轴向推力作用下圆柱形压力容器开孔一接管高应变区的变形及局部应力进行了详细的试验研究和三维有限元分析。研究工作针对３台具有不同ｄ／Ｄ比的试验容器进行。研究结果表
利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器,用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测