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【摘 要】
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利用微悬梁器技术**证明对微机械光学和红外的探测是可行的。微悬梁器技术提供了一个简单的方法来研制单元和多元传感器,用于可见光和红外辐射的探测。这类传感器与量子探测
【机 构】
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美国田纳西州Oak Ridge国家实验室
【出 处】
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红外
【发表日期】
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1998年04期
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