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根据真空腔的结构和实际的测试条件,利用ANSYS有限元法对真空腔的径向和轴向二维温度场进行了数值模拟,与对应位置实测结果进行比较,最大偏差小于0.01℃,该研究成果对测长真空腔的温度场分析及提高硅球温度测量的准确度具有一定的指导意义.
基于ANSYS有限元法的真空腔温度场仿真研究
【摘 要】
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根据真空腔的结构和实际的测试条件,利用ANSYS有限元法对真空腔的径向和轴向二维温度场进行了数值模拟,与对应位置实测结果进行比较,最大偏差小于0.01℃,该研究成果对测长真
【机 构】
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中国计量科学研究院,北京,100013
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2011年12期
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