液相外延技术生长LiNbO_3单晶薄膜的概况

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dddbj126

【摘要】

：

本文综述了近年来利用浸沾式液相外延(LPE)和毛细液相外延(CLE)技术生长光波导和声表面波器件用的LiNbO_3单晶薄膜的工艺原理、性能的测试和应用. In this paper, the princ

【作者】

：

高元凯蒋宏第徐玉恒

【机构】

：

哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

1983年02期

【关键词】

：

液相外延薄膜 LiNbO_3 单晶光波导声表面波器件回口基片微米外延生长

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本文综述了近年来利用浸沾式液相外延(LPE)和毛细液相外延(CLE)技术生长光波导和声表面波器件用的LiNbO_3单晶薄膜的工艺原理、性能的测试和应用. In this paper, the principle, performance and application of LiNbO_3 single crystal thin films grown by dip-dip liquid phase epitaxy (LPE) and capillary liquid phase epitaxy (CLE) have been reviewed in this paper.

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