【摘 要】
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在甲烷和氢气的混合系统中,利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法,在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜.利用场发射扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对碳膜的结构进行了表征,结
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在甲烷和氢气的混合系统中,利用石英管型微波等离子体化学气相沉积方法,在硅片上制备了新型的纳米片状碳膜.利用场发射扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对碳膜的结构进行了表征,结果表明碳膜是由长1μm、宽100 nm的纳米碳片相互缠绕而成.最后简单讨论了新型碳纳米片的形成机理.
In a mixed system of methane and hydrogen, a novel nanosheet carbon film was prepared on a silicon wafer by using a quartz tube type microwave plasma chemical vapor deposition method. The structure of the carbon film was characterized by field emission scanning electron microscopy and Raman spectroscopy The results show that the carbon film is formed by entanglement of carbon nanofilms with a length of 1μm and a width of 100nm.Finally, the formation mechanism of a novel carbon nanosheet is briefly discussed.
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