【摘 要】
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用本所研制的CMOS/SOS器件作了两项试验,即CMOS/SOS4012长期可靠性试验和不同版图设计、不同器件工艺研制的CMOS/SOS长期可靠性对比试验。试验结果表明:不同版图设计和器件工
【机 构】
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四川固体电路研究所,成都电讯工程学院,四川固体电路研究所 实习研究生
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用本所研制的CMOS/SOS器件作了两项试验,即CMOS/SOS4012长期可靠性试验和不同版图设计、不同器件工艺研制的CMOS/SOS长期可靠性对比试验。试验结果表明:不同版图设计和器件工艺对CMOS/SOS器件可靠性有较大的影响;改进了版图和器件工艺研制的CMOS/SOS器件达到了较高的可靠性;不同栅介质结构的CMOS/SOS器件在高温加电运行中,阈值电压的变化是不同的。
CMOS / SOS devices developed by our institute made two experiments, that is, CMOS / SOS4012 long-term reliability test and different layout design, different device technology developed CMOS / SOS long-term reliability comparison test. The experimental results show that different layout designs and device processes have a greater impact on the reliability of CMOS / SOS devices. CMOS / SOS devices with improved layout and device technology have achieved higher reliability. CMOS / SOS devices in high temperature power-on operation, the threshold voltage changes are different.
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